荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）全球副总裁、中国区总裁沈波表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

　　据新华社的报道，作为全球芯片光刻技术的佼佼者，荷兰光刻机生产企业阿斯麦（ASML）以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相第三届进博会高端装备展区，呈现整体光刻解决方案。沈波说，2020年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

　　光刻机是芯片制造中最重要的设备之一。10月14日，阿斯麦（ASML）发布了2020年第三季度财报，第三季度销售额为40亿欧元，净利润11亿欧元，毛利率达47.5%，第三季度的新增订单金额为29亿欧元。同时，阿斯麦（ASML）将在本周恢复执行股票回购。阿斯麦（ASML）总裁兼首席执行官Peter Wennink表示：“第三季度的销售额达到40亿欧元超出预期，我们一共交付了10台EUV系统，并在本季度实现了14台系统的销售收入。”

　　Peter Wennink在季度财报说明会还透露，从荷兰向中国出口DUV光刻机无需许可证。“根据当前法规，阿斯麦（ASML）无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统；对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户，ASML需获得许可证。”他表示。

　　EUV光刻机和DUV光刻机有什么不同？

　　根据曝光源的不同，光刻机分为EUV型（极深紫外线）、DUV型（深紫外线）。从制程范围来看，DUV基本上只能做到25nm，而EUV能满足10nm以下的晶圆制造需求。